海外では、2000年代序盤から様々なSi安定同位体比研究が展開されてきたが、国内での計測例はきわめて少ない。また、Siと同族元素のGeが、風化・植物への吸収・二次鉱物への吸着過程でSiと異なる挙動を示すことから、Ge/Siを併せた解析の有効性も提唱されている。そのため、国内で両指標を安定的に分析できる環境を構築し、表層環境試料に応用する基盤を構築することは重要と思われる。本研究では、MC-ICP-MSを用いたSi安定同位体比分析法と、同位体希釈-水素化物導入ICP-MS法を用いた微量Ge分析法を整備したため、その概要を報告するとともに、いくつかの天然試料に関する測定結果を報告する。