焼結ターゲットを用いたアークイオンプレーティング法による硬質薄膜の創製

ホソカワ粉体工学振興財団年報

Online ISSN : 2189-4663
ISSN-L : 2189-4663

研究者育成のための援助成果報告

焼結ターゲットを用いたアークイオンプレーティング法による硬質薄膜の創製

長谷川裕之, 鈴木哲也

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2004 年 12 巻 p. 166

DOI https://doi.org/10.14356/hptf.03504

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