電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
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特集　
大気圧プラズマの生成と応用
大気圧グロープラズマCVDによる材料合成
野崎 智洋, 岡崎 健
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キーワード: 大気圧グロー放電, シース, プラズマCVD, カーボンナノチューブ
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2006 年 126 巻 12 号 p. 788-791

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