総論　炭素系薄膜・構造体の合成に用いられるプラズマプロセス

抄録

1．はじめに　炭素繊維やグラファイト，ダイヤモンドなどの同素体がある炭素材料は，幅広い電気的・機械的・熱的・光学的性質を有しており，期待される応用も，電子デバイスから工具，摺（しゅう）動材料，構造材料など極めて広範である。さらに，カーボンナノチューブ (carbon nanotube：CNT) や