アモルファス炭素膜の成膜プロセス・表面反応

抄録

1．はじめに　アモルファス炭素膜は，主に炭素と水素で構成されたアモルファス状の炭素膜であり，膜中の炭素結合状態もsp²，sp³が混在している。組成・化学結合状態では幅広い範囲の膜を指す。とくに硬い膜はダイヤモンド─ライクカーボン (DLC) と呼ばれる。これらの膜は，摺（しゅう）動性，化学

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