ナノダイヤモンド膜のプラズマ合成と電気・電子応用

抄録

1．はじめに　我が国の無機材質研究所において，実用的な人工ダイヤモンド膜の気相合成法^{(1) (2)} が開発されて以来，高品質な単結晶ダイヤモンド膜を合成する手法が世界的に探求されてきた。しかし過去十数年にわたって，ナノテクノロジーの波が押し寄せ，意図的にナノ粒径化したナノダイヤモンド