電気学会誌
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—鉛筆や宝石だけじゃない！プラズマが拓く炭素材料の未来—
単結晶ダイヤモンドウェーハ作製における要素技術の現状と課題
山田 英明
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キーワード: 単結晶ダイヤモンド, ワイドバンドギャップ半導体, 結晶成長, 低抵抗化, 加工技術
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2015 年 135 巻 3 号 p. 145-147

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抄録
1．単結晶ダイヤモンドの魅力　宝飾品の王様と呼ばれるだけあって，ダイヤモンドという名前だけでも目を惹（ひ）く物質だが，複数の物性値が物質中最高水準であることこそが，この物質の最も魅力的な点と言えよう。特に，半導体材料として比較した際，現在主流の半導体材料であるSiはもちろんのこと，SiCやGaNを
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