電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
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特集：ミニマルファブ　—新しい半導体製造プラットフォーム—
ミニマルファブのライン開発
原 史朗, 前川 仁
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キーワード: ミニマルファブ, 変種変量, 一個流し, 局所クリーン化
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2015 年 135 巻 8 号 p. 538-542

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抄録

1．はじめに　ミニマルファブ(1)を開発するに当たって，大変重要なことは，装置の規格をそろえること，すなわち標準化にある。一般にどの分野でも標準化が叫ばれるが，その目的は国家間競争というファクタを除けば，開発コストを下げるということが主目的であり，そこにイノベーションの感覚

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