表面プラズモンフィルタを用いた超小型分光センサに用いられるナノインプリント技術とセンサの応用展開検討

抄録

1．はじめに

nanoLambdaは画期的な超小型分光センサapollo^（1）を開発した。apolloは約5×5×5 mmという超小型であること，消費電力が小さいこと，ディジタル出力であるために周辺回路が最小限であることなどを特長としている（図1）。また，量産性に優れた半導体プロセスとナノインプ