(株)メムス・コア 東北大学
2020 年 140 巻 7 号 p. 440-441
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はじめに 私は半導体微細加工をベースに多様な知識でセンサなどを作るMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)と呼ばれる技術に,学生時代から半世紀ほどかかわってきました。半導体の世界で,微細化・高集積化のMore Moore に対し,これは多様化のMore than Moore
電氣學會雜誌
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