電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
Print ISSN : 1340-5551
ISSN-L : 1340-5551
特集 ナノ・マイクロバイオマシンの現状と将来
序論
遠藤 達郎横川 隆司
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ジャーナル 認証あり

2020 年 140 巻 9 号 p. 577-578

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抄録

1.はじめに

我々は,各種物理変数に関するスケーリングについて学び,ナノ・マイクロスケールの物理現象を解析することで,MEMSがいかに微細化の利点を活用した素晴らしいシステムであるかを理解してきた。例えば,櫛歯型アクチュエータでは,静電引力により機械的な変位を得ることができ

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