大阪府立大学
京都大学
2020 年 140 巻 9 号 p. 577-578
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1.はじめに
我々は,各種物理変数に関するスケーリングについて学び,ナノ・マイクロスケールの物理現象を解析することで,MEMSがいかに微細化の利点を活用した素晴らしいシステムであるかを理解してきた。例えば,櫛歯型アクチュエータでは,静電引力により機械的な変位を得ることができ
電氣學會雜誌
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