圧電MEMS超音波センサと圧電薄膜材料の開発

抄録

1．はじめに

圧力（力）を加えると電荷が生じる物質を圧電体と呼ぶ。また，圧電体に電界を印加すると歪みが生じる。前者は正圧電効果，後者は逆圧電効果といい，両者をまとめて圧電効果という。圧電体はさまざまなデバイスに利用されている。正圧電効果をデバイスに利用する場合，圧電体は