電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
Print ISSN : 1340-5551
ISSN-L : 1340-5551
三次元イオン注入システム
行村 建
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キーワード: プラズマイオン注入, モジュレータ, パルサ, 閉スイッチ, 半導体スイッチ, 漂遊容量
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2001 年 121 巻 5 号 p. 316-319

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