電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
Print ISSN : 1340-5551
ISSN-L : 1340-5551
プラズマイオンプロセスにおける計測技術
中村 圭二
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キーワード: イオン電流, 二次電子電流, 変位電流, シース加速, 二次電子放出係数
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2001 年 121 巻 5 号 p. 320-321

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