電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
Online ISSN : 1347-5525
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論文
ガスセンサ特性に及ぼす拡散電極膜組成の影響
水谷 好孝松田 裕之石地 徹古屋 長一
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2006 年 126 巻 1 号 p. 19-23

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抄録
A superior electrochemical gas sensor has been developed by using a novel gas diffusion membrane consisting of carbon powder and poly-fluorocarbon for the detection of toxic gases. The gas permeability of the gas diffusion membrane depends on the poly-fluorocarbon composition in the membrane. With a decrease of the poly-fluorocarbon composition in the membrane, the electrochemical gas sensor shows high sensitivity for the detection of toxic gases, such as arsine and silane.
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© 電気学会 2006
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