Basic Characteristics of Ion-balance/neutralizing Current Sensor for AC Corona Air Ionizer using Grounded Ring Electrode

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
ISSN-L : 1341-8939

特集論文

Basic Characteristics of Ion-balance/neutralizing Current Sensor for AC Corona Air Ionizer using Grounded Ring Electrode

Takashi Terashige, Yasuna Hirata, Nana Iwamoto, Kazuo Okano

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キーワード: ionizer, neutralizing current, ion balance, sensor, corona discharge, semiconductor manufacturing

ジャーナルフリー

2013 年 133 巻 3 号 p. 72-76

DOI https://doi.org/10.1541/ieejsmas.133.72

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抄録

A new ion-balance/neutralizing current sensor for an AC corona ionizer was proposed and investigated by using a grounded ring electrode. Both the positive and the negative conduction currents can be measured independently using the proposed sensor. The sensor can cancel and eliminate the influence of the electric field from the emitter tip.

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© 2013 by the Institute of Electrical Engineers of Japan

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