抄録
本稿では,注目領域画素並列検波による3次元形状取得向けCMOSイメージセンサを報告する.このセンサは対象物にシート光を照射し,スキャンすることで3次元情報を知る光切断法において,変調シート光を検波回路により検出する.この手法により弱いシート光であっても検出が可能となる.また,高解像度を実現するために検波回路を画素配列の外に設置し,さらに注目領域を検出してその領域のみを検波することで効率的な処理を実現する.試作したセンサは,シミュレーションにおいてSignal-to-Background Ratio(SBR)が-26.0 dB,ダイナミックレンジが38.4 dBと見積もられた.試作センサを測定した結果から,距離1000mmにおける奥行き距離の誤差(1σ)は10.7 mm,処理速度は0.869 range maps/sと見積もられた.