金属Znをソース材料としたCVD法によるZnS : Mn膜の作製とその発光特性

抄録

Znソースとして金属Znを用いた減圧熱CVD法によりZnS : Mn膜を成膜させることを試み、広範囲な成膜条件でZnS : Mn膜を作製した。その結果、成膜温度600[℃]を境として、それよりも低温側、高温側で膜の結晶性および発光特性に差異が生じ、600[℃]より高温側で良質な結晶、高い発光輝度を得た。また、このような簡便な成膜方法においても成膜条件の適性化により、他の成膜方法による良質な結晶および発光輝度と同等な結果を得ることができた。