走査型プローブ顕微鏡に用いる金属探針の新規な作製方法

抄録

我々は、シリコンのモールド上に金属を成膜し、これを基板上の金属バッドに圧着し、モールドから剥離して基板に転写することにより、走査型プローブ顕微鏡にもちいる金属探針を作製する方法を検討したので報告する。製造したPt探針の先端曲率半径は15nm以下であった。ビエゾ抵抗による検出部を形成したカンチレバー上に本検討による探針を形成し高分解能のAFM像と導電率像を得ることができた。