低温poly-Si TFTによる2インチXGA反射型ライトバルブ

抄録

小型・高輝度のプロジェクタ実現を目的として反射型ライトバルブを試作した。高分子分散型液晶を用いたプロジェクタにとって光利用効率の良いライトバルブの大きさをシミュレーションで求めた。2インチで高精細のライトバルブを実現するため、ガラス基板上に低温poly-Si TFTで表示アレイおよび周辺ドライバを集積した。遮光対策として黒色樹脂を混合した平坦化膜をもちいて反射電極を形成し、40μmピッチXGAの高精細表示を得た。