ECRスパッター法で形成したシード層の結晶配向性とCo-Cr-Pt面内媒体の磁気特性

抄録

Cr, MgOシード層を電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタ法で成膜したCo-Cr-Pt/Cr-Ti面内媒体の磁気特性・結晶構造を調べた。ECR成膜法で形成したMgO、Crシード層は、ともに、基板温度が室温でも良好な(100)結晶配向を示し、その上部にCr-Ti(100)面、Co-Cr-Pt(11.0)面がエピタキシャル成長した。これにより、高保磁力を保った状態で、結晶粒径の微細化が可能となった。