青色発光SrGa_2S_4:Ce蛍光薄膜の低速カソードルミネツセンス特性(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)

抄録

500℃以下のプロセス温度で多元蒸着法によって作製したSrGa_2S_4:Ce多結晶薄膜(膜厚0.25μm、平均結晶粒径0.14×0.04μm)の低速電子線によるカソードルミネッセンス特性を調べた。加速電圧5kV、電流密度60μA/cm^2において輝度1000cd/m^2、効率1lm/W、色度座標(0.137,0.123)の均一な青色発光を得た。