酸素リモートプラズマを用いたZnOのMOCVD成長(発光型・非発光型ディスプレイ合同研究会)

抄録

リモートプラズマMOCVD法により酸素プラズマを用いてジエチル亜鉛(DEZn)からZnOを成長させた。有機原料DEZnのキャリアガスとして水素と窒素を用いた場合、ZnOの成長速度に違いがみられ、水素キャリアを用いた場合に成長速度が大きくなった。また、水素ガス流量とプラズマ酸素流量の割合によっても成長速度が変化した。結晶成長時のプラズマ発光スペクトルを測定した結果から、酸素プラズマと水素ガスによる相互作用による成長機構を提案した。