抄録
CuとAl_2S_3:Mnを用いた2源電子線蒸着とH_2S供給を組み合わせた多源蒸着法によりCuAlS_2:Mn赤色蛍光体薄膜を作製した。作製した薄膜の元素組成、結晶学的特性、フォトルミネッセンス(PL)特性を評価した。十分なH_2Sを供給したにも関わらず薄膜中の硫黄組成は非常に少なく、H_2S供給の場合では薄膜内に有効に硫黄が取り込まれないことが推察された。そこで不足分の硫黄を補うためAl_2S_3:Mn蒸着源に硫黄粉末を加えて成膜したところ、作製した薄膜からCuAlS_2(112)面によるX線回折ピーク、CuAlS_2:Mn特有の赤橙色PL発光、さらにCuAlS_2のバンド端吸収によるPL励起スペクトルが得られた。
