P1-31 圧電素子光熱分光法とフォトルミネッセンス法による4H-SiC単結晶中の欠陥評価(ポスターセッション1,ポスター発表)

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集

Online ISSN : 2433-1414

セッションID: P1-31

DOI https://doi.org/10.24492/iuse.23.0_69

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P1-31 圧電素子光熱分光法とフォトルミネッセンス法による4H-SiC単結晶中の欠陥評価(ポスターセッション1,ポスター発表)

多田晋, 境健太郎, 福山敦彦, 碇哲雄

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