自動制御連合講演会講演論文集
第49回自動制御連合講演会
セッションID: general
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可変キャパシタ機構を利用した静電アクチュエータ制御システムの開発
(第2報)静電力制御特性の評価
*塚田 真也*高崎 正也*石野 裕二*水野 毅
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