弾性構造物が搭載されたアクティブ除振装置の低次元化物理モデルを用いたモデリングと制御

岡本 光司; 須藤 佳祐; 渡辺 亨; 背戸 一登; 田中 宏幸

doi:10.11511/jacc.53.0.127.0

第53回自動制御連合講演会

セッションID: 319

DOI https://doi.org/10.11511/jacc.53.0.127.0

会議情報

主催: 日本機械学会, 計測自動制御学会, システム制御情報学会, 化学工学会, 精密工学会, 日本航空宇宙学会

共催: 50の学会，協会などから協賛

ダイナミカル制御システムデザイン　

弾性構造物が搭載されたアクティブ除振装置の低次元化物理モデルを用いたモデリングと制御

*岡本光司, 須藤佳祐, 渡辺亨, 背戸一登, 田中宏幸

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キーワード: 振動制御, モデリング, アクティブ制御

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抄録

精密機器は微小な振動でさえ機器の性能に悪影響を与えてしまう．そこで装置の性能を維持するために除振装置が必要である．しかし除振台に精密機器を搭載する事で除振装置全体の振動特性が変化してしまう．除振台だけでなく搭載物を含めた装置全体の制御が必要となり，搭載物を考慮したモデルが求められる．本発表では実機を用いた除振装置のモデルの作成方法、制御方法を紹介しシミュレーションと実機の制御結果を発表する．

責任著者(Corresponding author)

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