真空バルブモータの位置決め精度改善　～永久磁石を用いた軸受剛性補強とドライバ変更～

抄録

真空バルブモータの位置決めに関する研究である．同バルブは真空チャンバ内で使われる．同チャンバ内には弁を備えており，試料を入れ替える際，弁によって高真空と低真空を切り替える．従来はチャンバ内にモータが入り込んでいるが，コンタミの問題が生じる．そこで発塵を低減してダストの飛散を抑制できるよう，モータを外部に置き，機械的接触のほとんどない新たなモータを考えた．今回は，永久磁石を用いた軸受剛性補強とドライバ変更による位置決め精度の改善について報告する．