5軸能動形磁気軸受の制御系に対するモード分配行列設定の一方法

大久保 信哉; 中村 幸紀; 涌井 伸二

doi:10.11511/jacc.53.0.172.0

第53回自動制御連合講演会

セッションID: 405

DOI https://doi.org/10.11511/jacc.53.0.172.0

会議情報

主催: 日本機械学会, 計測自動制御学会, システム制御情報学会, 化学工学会, 精密工学会, 日本航空宇宙学会

共催: 50の学会，協会などから協賛

メカニカルコントロール（１）

5軸能動形磁気軸受の制御系に対するモード分配行列設定の一方法

*大久保信哉, 中村幸紀, 涌井伸二

著者情報

キーワード: 能動形磁気軸受, ターボ分子ポンプ, モード分配行列, パラメータ同定

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

能動形磁気軸受のモード別制御において，従来，モード分配行列の未知パラメータを設定するには，試行錯誤的にパラメータを変化させていく手法が取られてきた．磁気軸受を利用した製品の仕様が変更となると，モード分配行列のパラメータも変化するため，パラメータ設定を効率的に行う手法が求められている．本発表では実験から得られたデータを元にパラメータ設定を行う手法を示す．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）