分光計測ステージのための外乱振動制御

抄録

近年，分光装置を用いて測定対象の分光特性を解析し，対象の組成を計測する研究が進められている．しかし，振動等の外乱による影響でステージ位置がずれ，正確な分光特性を取得できない場合がある．本研究では，計測時に入力される外乱を外乱オブザーバを用いて推定し，ピエゾアクチュエータを制御することでステージの振動を補償する．最後に，提案した手法を用いて振動を補償し，分光計測を行うことで本研究の有効性を評価する．