絶対変位センサを用いた除振装置の床振動フィードフォワードに関する一研究

抄録

地動外乱を抑制するため，空圧式除振装置には床振動をフィードフォワードする．従来，この信号には，加速度センサからの加速度信号を多用してきた．しかし，地動外乱は，粘性比例係数と機械剛性に比例した外乱項である．よって，加速度信号に1，2回の積分演算を施すこととなり，低周波ピンクノイズの増幅が問題となってしまう．そこで，著者らが提案している加速度・速度・変位の3信号を同時に検出可能な絶対変位センサをフィードフォワードセンサとして適用する．