空気圧式多自由度除振装置の開発

空気圧式除振ユニットの開発と負の剛性の実現

抄録

近年、高精度、高性能化する半導体製造や極微小領域計測システムにおいては外乱による微振動がシステムに大きな影響を与えてしまうため、その絶縁が必要不可欠となり、除振装置の重要性が増している。 そこで、この研究では負の剛性を利用し、多自由度除振装置の開発を目的とする。本報では、空気圧アクチュエータを利用した除振装置ユニットの設計、製作を行い、負の剛性を実現した。