空圧系除振装置に対する流量外乱オブザーバの実装

抄録

産業の現場においては，供給空気に対して流量変動が頻繁に起こる．フィードフォワード制御を用いて除振台変位の揺動がキャンセルできることは実証されている．しかし，フィードフォワード制御においては圧力センサを新たに配置するためのコストがかかる．そこで，供給空気圧外乱の影響による台座の位置変動の対策として，流量外乱オブザーバを適用することで台座の揺動を抑制した．