空圧式除振装置の床振動フィードフォワードに及ぼす位置フィードバックの影響

抄録

空圧式除振装置の床振動FFについて考察する．床振動FFは，床振動の影響を打ち消すようにアクチュエータを制御する．通常，床振動FFは，比例ゲインkp，積分ゲインkiのパラメータを調整して除振率の調整を行う．このときの，パラメータの投入順序による除振率への影響を示す．また，除振装置には，除振台の位置を制御する位置FBが用いられる．この位置FBにより，低周波共振が発生する．この低周波共振について考察する．