多重式静電浮上システム 第２報：接続方式と可制御性

加藤 貴彰; 水野 毅; 高崎 正也; 石野 裕二

doi:10.11511/jacc.53.0.84.0

第53回自動制御連合講演会

セッションID: 237

DOI https://doi.org/10.11511/jacc.53.0.84.0

会議情報

主催: 日本機械学会, 計測自動制御学会, システム制御情報学会, 化学工学会, 精密工学会, 日本航空宇宙学会

共催: 50の学会，協会などから協賛

磁気浮上・磁気軸受の制御

多重式静電浮上システム

第２報：接続方式と可制御性

*加藤貴彰, 水野毅, 高崎正也, 石野裕二

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キーワード: 静電浮上, 可制御性, メカトロニクス

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抄録

複数の静電浮上システムを１台の電力増幅器によって制御する概念を多重式静電浮上システムとして提案した．多重式静電浮上システムでは直列接続型と並列接続型があり，並列接続型が可制御となる条件はすでに示されている．一方，直列接続型は浮上体の変位によって各静電浮上システムへの印加電圧の大きさが変化するため並列接続型より式が複雑である．今回は直列接続式の可制御性について解析した．

責任著者(Corresponding author)

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