鉱物中に含まれる包有物の相分析

抄録

近年、集束イオンビーム装置の発達により、数nmの分解能での精密な加工ができるようになり、FIBを用いた透過型電子顕微鏡の試料作製法が一般的になりつつある。そこで、本研究ではFIBを用いた試料加工と様々な観察・分析手法を組み合わせることにより、従来行われていた鉱物表面上だけでなく、包有物全体および断面の観察・分析を行う手法の開発を行った。