ＰドープＺｎＭｇＴｅエピ膜の電気的性質に及ぼすＴＤＭＡＰ供給量効果

抄録

光の三原色の内、緑色ＬＥＤは効率が極めて低いので改善が望まれる．我々は緑色材料としてＺｎＴｅ に注目し，Ａｌ熱拡散法により市販レベルのＬＥＤの試作に成功した．本研究では，発光効率向上のためにダブルヘテロ構造等によりＺｎＴｅへのキャリア閉じ込めが期待できるＺｎ1-ｘＭｇｘＴｅの混晶半導体に注目した．本材料の有機金属気相エピタキシャル成長技術についてはこれまで幾つか報告してきたが，ｐ型ド－ピングに関しては我々の初期の研究を除くと殆んど知られておらず，系統的な研究は進んでいない．そこで本研究ではドーパント材であるＴＤＭＡＰに注目して，その供給量とエピ膜の電気的性質の関係を明らかにすることを目的とした．