抄録
本研究ではカーボンナノチューブ生成のための金属微粒子の作製を目的として、有機金属溶液焼成法により金属ナノドットを作製した。金属ナノドットはPt有機金属溶液をSi基板に塗布し、電気炉で焼成して作製した。また、有機金属溶液中のPt含有量を変化させることで金属ナノドットの粒径制御を試みた。その結果、Pt含有量が約2.4%の溶液を用いた場合に直径50nm程度の金属ナノドットが生成された。しかし、それ以上に溶液を薄くした場合には、溶液の混ざり方の問題から効果が見られなかった。また、作製した金属ナノドットを用いてCVD法によるCNTの作製に成功した。
