二軸傾斜センサシステムの開発 - ステップ１ -

抄録

本研究室では，水晶MEMS技術を応用した小型高分解能の二軸傾斜センサおよび，二軸傾斜センサシステムの実用化を目指して研究開発が行われている。本傾斜センサシステムは，主にセンサデバイスユニット，セラミックパッケージユニット，そしてコントロールするための演算・表示ユニットで構成されている。センサには静電容量型の傾斜センサが使用され，角度変化を静電容量変化として検出し，ICによってディジタルデータに変換された後，演算・表示ユニットへ送られる。 本研究では，主に演算・表示ユニットとケーブルを延長させるI2Cバスバッファの設計と，システム全体のノイズ削減を主な研究目標としている。