多軸誘導コイルを用いたアクティブ磁気シールドの補償磁場の最適化

抄録

半導体の電子描画装置などでは，外部からの変動磁気ノイズを遮蔽するため，磁気シールドが必要となる．現在，この磁気シールド方法として，空間を磁性体で覆う磁気シールドが用いられているが，これを安価で軽量にするため，多軸誘導コイルと補償コイルを組み合わせたアクティブ磁気シールド法が提案されている．今回，このアクティブ磁気シールドに関して，エレベータの移動に起因する磁気ノイズを遮蔽するための補償磁場の最適化を，磁界解析により検討したので報告する．