Fe/MgO多層膜を用いたコプレーナ線路の高周波伝送特性

抄録

オンチップ伝送線路は、高周波フィルターや整合回路といった高周波デバイスにおいて重要な要素である。強磁性膜は、この伝送線路にさらなる機能をもたらすことが出来る。Feは、比較的大きな飽和磁化と結晶磁気異方性を有するため高周波デバイスへの応用が期待できる。しかしFeでは、高周波帯域における渦電流損の発生が問題となる。本研究では、MgOを下地層かつ絶縁層に用いたFe/MgO多層膜をコプレーナ線路に組み込み、その伝送特性を評価した。その結果、[Fe/MgO]₅において磁化の向きを制御することで、選択的に強磁性共鳴を励起させ-45dB/cmのバンドストップフィルターを実現した。