抄録
我々は独自に開発した結晶合成法であるナノ微粒子支援レーザー堆積（NAPLD:Nano-particle Assisted Pulsed Laser Deposition）法を用いて欠陥の少ない高品位な酸化亜鉛（ZnO）ナノロッドの作製に成功してきた．作製したZnOナノロッドのp型化を目指し，アンチモン(Sb)を蒸着したサンプルへのレーザードーピングを試みた．p型化が実現すれば，同一基板上でZnOホモ接合LEDの作製も可能となる．本稿ではSbレーザードーピング前後のZnOナノロッドの光学特性の評価およびpnホモ接合LEDの試作について報告する．
