抄録
近年，装置が簡単で短時間で試料の組成分析が可能なレーザ誘起ブレークダウン分光法(LIBS)が注目されている。しかし，原子吸光分光法(AAS)や蛍光Ｘ線分析(XRF)に比べて，分析感度や精度が劣っており，その改善が課題となっている。そこで本研究では，Nd:YAGレーザの基本波をレンズで集光して合金，酸化物などの固体試料に照射してプラズマを生成させ，その発光スペクトルを測定し，レーザ照射エネルギー，プラズマ生成雰囲気ガスによるプラズマ特性への影響を調べた。また，発光の観測時刻，積分時間などと原子線，イオン線スペクトル強度の関係を調べた。
