抄録
屈折率が異なる誘電体材料の積層構造を持つ誘電体多層膜は、光ファイバの波長多重通信（WDM）方式において、波長の異なる複数の光信号を合波・分波する機能を持っている。そこで本研究では、高品質な誘電体多層膜の作成を目的とし、高屈折率材料に酸化チタン（TiO2）、低屈折材料に酸化エルビウム（Er2O3）を用いて、RFマグネトロンスパッタリング法による[Er2O3/TiO2]6/[Er2O3]2/[TiO2/Er2O3]6薄膜の作製を行った。各層の膜厚を制御することで特定波長の光を透過する誘電体多層膜を作成し、膜厚の設計や光学的特性について検討した。
