抄録
近年，固体試料にレーザーを照射し，生成プラズマの発光分光分析により試料中の元素組成分析を行う，レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)が注目されている．さまざまな形状の試料でも簡便に短時間で元素分析が行えるといった長所があるが，一方，従来の原子吸光分析(AAS)や蛍光X線分析(XRF)などと比較して，定性分析での精度が低く，また検出感度が低いなどの課題がある．本研究では小型の分光器を用いたLIBSにより，合金，酸化物などの元素分析を行い，分析結果をXRFによる測定結果と比較し，LIBSの定性分析、定量分析の精度改善について検討を行った．
