プラズマ中微粒子のレーザー捕捉とラマン分光

抄録

プロセシングプラズマにおいて、加工寸法の微細化に伴いナノ構造との界面制御が近年重要視されている。筆者等はプラズマ中の微粒子をナノ界面のモデルとして、微粒子に対するプラズマ作用について研究している。本研究の実現にあたって、単一微粒子をプラズマ中で保持し、1つの微粒子に対するプラズマ作用のその場計測が必要である。筆者等はレーザートラップ法を用いて、単一微粒子をプラズマ中で保持することに成功し、またプラズマ照射中の微粒子のラマン分光計測にも成功したので、これを報告する。