シランプラズマ中ナノ粒子の膜中初期取込み量に対する振幅変調の効果

抄録

薄膜シリコン太陽電池は、現在アモルファスシリコン太陽電池をトップセル、微結晶シリコン太陽電池をボトムセルとしたタンデムセルが用いられている。タンデムセルが、太陽電池市場で大きなシェアを得るためには、トップセルの光劣化を抑制する必要がある。光劣化の原因として、シランプラズマ中で発生するナノ粒子の膜への取り込みが指摘されている。本研究では、我々が開発したナノ粒子体積分率その場計測法を用いて、製膜初期におけるナノ粒子取り込み量に対する振幅変調放電の効果について研究した。