ICP支援DCマグネトロン放電における気体温度空間分布の吸収分光計測

抄録

当研究室で製作した外部共振器型半導体レーザー（ECDL）を光源として、誘導結合プラズマ（ICP）、DC、誘導結合プラズマ重畳直流マグネトロンスパッタリング（RF-ICP重畳DCMS）の2種類の放電プラズマにおいて、準安定Ar原子密度と中性気体温度の計測を行なった。準安定Ar原子密度と中性気体温度の導出は、実験で得られた吸収線形状を、準安定Ar原子密度と中性気体温度をパラメータとして与えて理論計算して求めた吸収線形状でフィットすることで得られた。今回は、真空チャンバー内のプラズマの気体温度と準安定Ar原子密度の空間分布を報告する。