小型マルクス回路により生成した大気圧低温プラズマジェットの特性

抄録

大気圧低温プラズマジェットの生成に必要な高繰り返し高電圧パルスを得るために、著者らが考案した抵抗、コンデンサ、ダイオードを主回路に用いたマルクス回路を使用し、スイッチング素子には高耐圧MOSFETを用いた。プラズマジェットは、Heガスをガラス管から大気中に放出し、ガラス管先端に取り付けた電極に高電圧パルスを印加して生成した。電極の形状や配置等を工夫することでガラス管の先端から外側のみにプラズマを効率的に生成できるようにした。さらに、発光分光法を用いてプラズマ発光の光強度やスペクトルの空間分布、時間変化を測定してプラズマの特性を調べた。