抄録
本研究では, 大気圧低温プラズマジェット中の電子密度・温度のレーザートムソンン散乱法による計測を試みた. 大気圧低温プラズマジェットは, ガラス管からヘリウムガスを流出し, ガラス管の先端に設けた針状の電極に低周波の高電圧パルスを印加することで生成した.このプラズマジェット中にNd:YAGレーザーの第二高調波を入射し, その際に発生する散乱光を三回折格子分光器により分光して光電子増倍管で電気信号に変換することで, トムソン散乱光スペクトルを計測し, 電子密度・温度を求めるシステムとなっている. また, 本システムでは三回折格子分光器に加えクリーンボックスを設けることで迷光除去率を高めている.